Triklorosilan

Triklorosilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) je bezbojna, vrlo hlapljiva tekućina s oštrim, zagušljivim mirisom klorovodika. Vri na 31,8 stupnjeva i burno reagira s vlagom, ključna je sirovina za Siemensov proces za proizvodnju polisilicija visoke -čistoće za fotonaponske solarne ćelije i poluvodičke pločice. TCS se također naširoko koristi u silicijskom epitaksijalnom rastu pločica, organosilicijskoj sintezi (silikonska ulja, gume, smole, sredstva za spajanje), CVD taloženju tankog filma silicija i kao selektivni redukcijski agens u organskoj sintezi. Dostupan u industrijskom stupnju (veće ili jednako 99,0%) i elektroničkom stupnju (do 9N čistoće). Klasificiran kao reaktivan s vodom i vrlo zapaljiv (UN 1295, klasa 4.3+2.3, PG I) s iznimno širokim rasponom eksplozivnosti od 1,2%–90,5%; rukovati samo pod strogo bezvodnim uvjetima uz zaštitu od suhog dušika.